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管道式光氯化连续反应装置 

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申请/专利权人:洛阳中硅高科技有限公司

摘要:本实用新型公开一种管道式光氯化连续反应装置,包括静态混合器,所述静态混合器的进口端分别连接四氯化硅料源和氯气气源,用于将四氯化硅料源和氯气硅源进入静态混合器内进行预混合;反应器,所述反应器具有底部进口端和顶部出口端,所述底部进口端与静态混合器的出口端相连通,所述反应器包括至少一组填料段和反应段,所述填料段的出口侧与反应段的进口侧相连通,本方案为一种效率高、通量大的去除四氯化硅中痕量甲基氯硅烷的设备。与其适配的生产工艺能够实现连续稳定生产,生产能力得到了极大提升,可实现规模化连续化生产。

主权项:1.一种管道式光氯化连续反应装置,其特征在于:包括静态混合器,所述静态混合器的进口端分别连接四氯化硅料源和氯气气源,用于将四氯化硅料源和氯气气源进入静态混合器内进行预混合;反应器,所述反应器具有底部进口端和顶部出口端,所述底部进口端与静态混合器的出口端相连通,所述反应器包括至少一组填料段和反应段,所述填料段的出口侧与反应段的进口侧相连通,填料段,包括填料管腔侧壁和装填在填料管腔侧壁内的填料,用于四氯化硅料源和氯气气源的进一步混合,反应段,包括反应管腔侧壁、设置在反应管腔侧壁上的视镜以及设置在反应管腔侧壁外部的紫外灯光源,所述紫外灯光源正对视镜的端面设置,以使得紫外灯光源发出的光线照射进入反应管腔侧壁内。

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权利要求:

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