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一种气流量控制器 

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申请/专利权人:广州质谱技术有限公司

摘要:本实用新型用于流量调节设备领域,特别涉及一种气流量控制器,包括第一阀体,内部设有第一气路通道和多个第一出气通道;第二阀体,与第一阀体连接,第二阀体内部设有第二气路通道、多个第一进气通道和多个第二进气通道,各个第一进气通道和各个第一出气通道相互对齐;通气管,安装第一进气通道和第一出气通道之间,每个第一进气通道和第一出气通道之间安装的通气管的口径不同;电磁阀,具有第二进气口和第二出气口,第二进气口与第一进气通道相通,第二出气口与第二进气通道相通。当需要控制流量时,通过控制相应电磁阀的开关,使得气体流经不同口径的通气管,进而可实现气流量的调节,通气管的口径更加容易掌握,所以气流量控制精度也更高。

主权项:1.一种气流量控制器,其特征在于:包括第一阀体100,所述第一阀体100内部设有第一气路通道101和多个第一出气通道102,所述第一气路通道101在所述第一阀体100的一侧形成第一进气口103,各个所述第一出气通道102均与所述第一气路通道101相通;第二阀体200,所述第二阀体200与所述第一阀体100连接,所述第二阀体200内部设有第二气路通道201、多个第一进气通道202和多个第二进气通道203,所述第二气路通道201在所述第二阀体200的一侧形成第一出气口,各个所述第一进气通道202和各个所述第一出气通道102相互对齐,各个所述第二进气通道203与所述第二气路通道201相通;通气管300,所述通气管300安装在对齐的所述第一进气通道202和所述第一出气通道102之间,每个所述第一进气通道202和所述第一出气通道102之间安装的所述通气管300的口径不同;电磁阀400,所述电磁阀400安装在所述第二阀体200上,所述电磁阀400具有第二进气口和第二出气口,所述第二进气口与所述第一进气通道202相通,所述第二出气口与所述第二进气通道203相通。

全文数据:

权利要求:

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