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申请/专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
摘要：本申请涉及准分子激光器技术领域，本申请提供了一种双环金属密封圈，包括第一半环，第二半环和连接部；连接部将第一半环与第二半环相连；第一半环设置在第一零件的第一密封槽内；第二半环设置在第二零件的第二密封槽内。本申请还公开了一种包括双环金属密封圈的放电腔，包括双环金属密封圈，阳极，阴极，第一零件，第二零件和风机；阳极设置在阴极的下方，两者之间存在间隙；风机用于清扫阴极与阳极之间在放电过程中产生的金属氟化物颗粒；第二零件固定连接在阴极上；第一零件与第二零件贴合，并通过双环金属密封圈密封。
主权项：1.一种双环金属密封圈，其特征在于，金属密封圈整体为O形，其横截面包括第一半环，第二半环和连接部；连接部将第一半环与第二半环相连；第一半环设置在第一零件的第一密封槽内；第二半环设置在第二零件的第二密封槽内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京科益虹源光电技术有限公司 一种双环金属密封圈及其应用的放电腔和激光器
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