龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
摘要：本发明提供一种单晶炉及单晶硅的制备方法，所述单晶炉包括炉体，炉体内设置有坩埚支撑组件，坩埚支撑组件上部设置有坩埚，坩埚的正上方设置有导流筒，炉体的内壁和坩埚的外周之间设置有加热器，炉体的顶部设有籽晶提拉机构，所述单晶炉还包括：设置于炉体外围的磁场发生器，用于产生覆盖炉体的磁场；与导流筒的顶部连接的导流筒驱动机构，用于驱动导流筒做自转运动和升降运动；与导流筒的底部连接的多晶硅熔液搅拌装置，多晶硅熔液搅拌装置可随导流筒做自转运动和升降运动。根据本发明的单晶炉，可以阻滞坩埚内流体的热对流，提高晶体性能和均匀性；通过增设多晶硅熔液搅拌装置，可以缩短多晶硅材料熔化的时间，使形成的熔体的温度更加均匀。
主权项：1.一种单晶炉，所述单晶炉包括炉体，所述炉体包括自下而上依次设置的主炉室、圆顶室和牵引室，所述炉体内设置有坩埚支撑组件，所述坩埚支撑组件上部设置有坩埚，所述坩埚的正上方设置有导流筒，所述炉体的内壁和所述坩埚的外周之间设置有加热器，所述炉体的顶部设有籽晶提拉机构，其特征在于，所述单晶炉还包括：设置于所述炉体外围的磁场发生器，用于产生覆盖所述炉体的磁场；与所述导流筒的顶部连接的导流筒驱动机构，用于驱动所述导流筒做自转运动和升降运动；与所述导流筒的底部连接的多晶硅熔液搅拌装置，所述多晶硅熔液搅拌装置可随所述导流筒做自转运动和升降运动；磁场强度检测单元，用于检测所述炉体内的磁场强度，所述磁场强度检测单元设置在竖直穿过所述圆顶室的升降杆的底端，在所述圆顶室外部设置有一驱动装置，所述驱动装置用于驱动升降杆在竖直方向上作直线运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 西安奕斯伟硅片技术有限公司 一种单晶炉及单晶硅的制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号