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申请/专利权人：湖南瀚德微创医疗科技有限公司
摘要：本发明公开了一种超声手术刀刀头及其制备方法，采用超声波磁流变复合抛光、非平衡磁控溅射和深冷热处理技术的协同作用制备出具有良好光洁度、合适sp2和sp3相比例、小残余应力的刀头DLC涂层微观组织，突破了超声手术刀刀头涂层的制备技术，大幅提高超声手术刀的服役寿命，且工艺简单、成本低廉、易于批量生产，能很好的满足超声手术刀刀头涂层的需求。
主权项：1.一种超声手术刀刀头涂层的制备方法，其特征在于，包括刀头基材、过渡层和DLC层；所述基材的化学成分为TC4、TC9和TC11中的一种；所述过渡层的化学成分为Ni、Au和Al中的一种；所述DLC层的化学成分为N-DLC、B-DLC和F-DLC中的一种；所述刀头的导热系数为3～7W·m-1K-1；所述刀头的摩擦系数为0.1～0.3；包括以下步骤：S1、前处理：首先对刀头基材表面进行打磨抛光处理，然后用丙酮、酒精依次对基材进行超声波清洗，最后吹干备用，抛光方法为超声波磁流变复合抛光，超声频率为20～30kHz，输出振幅为5～10微米，磁感应强度为1000～2000Gs，工具头转速为200～300rmin；所述基材表面的粗糙度Ra为20～60nm；S2、清洗活化：将吹干后的刀头基材置于镀膜室内的工件旋转支架上，对反应室抽真空，真空度抽至低于10-5Pa时通入氩气，开启离子源进行溅射，对工件和靶材表面进行清洗活化；S3、沉积过渡层：溅射清洗后，采用直流磁控溅射方式，利用金属靶材Ni、Au和Al中的一种在刀头基材表面沉积过渡层；所述过渡层的厚度为0.5～1微米；S4、沉积DLC层：沉积过渡层后，采用反应磁控溅射方式，利用石墨靶材和氮气、硼靶、四氟化碳气体在金属过渡层上沉积DLC层；所述DLC层的厚度为2～4微米；所述DLC层中sp2键的含量为50％～70％，sp3键的含量为20～40％；S5、深冷热处理：沉积DLC层后，置于深冷炉内进行深冷处理得到成品。
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