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申请/专利权人：东方晶源微电子科技(上海)有限公司
摘要：本申请提供一种扫描电镜图像缺陷的确定方法及装置，涉及半导体技术领域，该方法包括：基于设计版图，确定第一图形检测器及所述第一图形检测器在所述设计版图中对应的第一检测位置；基于所述设计版图、所述第一图形检测器及所述第一图形检测器对应的第一检测位置，确定第二图形检测器及所述第二图形检测器在所述设计版图中对应的第二检测位置；基于所述第一图形检测器及对应的第一检测位置、所述第二图形检测器及对应的第二检测位置，对所述设计版图对应的扫描电镜图像进行检测，以确定所述扫描电镜图像中存在的缺陷。由此，可使得确定出的第一图形检测器及第二图形检测器更为全面与可靠，从而提高了扫描电镜图像缺陷检测的准确性与可靠性。
主权项：1.一种扫描电镜图像缺陷的确定方法，其特征在于，包括：基于设计版图，确定第一图形检测器及所述第一图形检测器在所述设计版图中对应的第一检测位置；基于所述设计版图、所述第一图形检测器及所述第一图形检测器对应的第一检测位置，确定第二图形检测器及所述第二图形检测器在所述设计版图中对应的第二检测位置；基于所述第一图形检测器及对应的第一检测位置、所述第二图形检测器及对应的第二检测位置，对所述设计版图对应的扫描电镜图像进行检测，以确定所述扫描电镜图像中存在的缺陷；其中，所述基于所述设计版图、所述第一图形检测器及所述第一图形检测器对应的第一检测位置，确定第二图形检测器及所述第二图形检测器在所述设计版图中对应的第二检测位置，包括：在所述设计版图中的任一图形单元存在除所述第一图形检测器外的其余图形区域的情况下，将所述其余图形区域确定为第二图形检测器；将所述第二图形检测器在所述设计版图中的位置确定为第二检测位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东方晶源微电子科技(上海)有限公司 扫描电镜图像缺陷的确定方法及装置
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