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循环镀膜方法、膜层以及产品 

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申请/专利权人:江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司

摘要:本发明提供了一循环镀膜方法、膜层以及产品,其中所述循环镀膜方法包括向一反应腔室通入反应原料和在循环镀膜条件下对于所述反应腔室内的一基材表面进行等离子体增强化学气相沉积以形成膜层,其中循环镀膜是指开启等离子体放电持续一段时间,然后关闭等离子体放电一段时间,循环开启和关闭的过程。

主权项:1.一循环镀膜方法,其特征在于,包括如下步骤:向一反应腔室通入反应原料;和在循环镀膜条件下对于所述反应腔室内的一基材表面进行等离子体增强化学气相沉积以形成膜层,其中开启等离子体放电,持续预设时间,然后关闭放电,持续预设时间,为一次镀膜周期,循环上述过程为循环镀膜,并且整个过程中保持反应原料供应;其中,每次循环过程中的等离子体放电的持续时间为t1,其中每次循环过程中的等离子体放电被关闭的持续时间为t2,所述t1为10秒、t2为5秒,t1为10秒、t2为10秒,t1为10秒、t2为20秒,t1为20秒、t2为20秒,t1为30秒、t2为20秒,t1为50秒、t2为20秒,t1为60秒、t2为20秒,或者t1为100秒、t2为50秒。

全文数据:

权利要求:

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