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申请/专利权人：拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司
摘要：本发明属于半导体制造技术领域，公开了一种热炉温控系统及热炉控温方法。该热炉温控系统包括第一控温支路，第一控温支路包括第一流量阀、第一冷媒流道结构、第二冷媒流道结构、第一三通调节阀和第二三通调节阀，第一流量阀用于调节冷媒流入第一控温支路的流量，第一三通调节阀用于调节冷媒流入第一冷媒流道结构的流量，第二三通调节阀用于调节冷媒流入第二冷媒流道结构的流量。通过第一控温支路，就能够以一个流量阀加至少两个三通调节阀的方式，对流经至少两个冷媒流道结构的冷媒的流量进行精细调节，以较为简单的结构实现了精准的温度控制，缩小了热炉的整体体积，大大降低了热炉的制作成本和使用成本。
主权项：1.热炉温控系统，其特征在于，包括有进水管路、第一控温支路和出水管路，冷媒从所述进水管路流入所述第一控温支路后从所述出水管路流出，以对热炉进行温度调节，并且，所述第一控温支路包括第一流量阀、第一冷媒流道结构、第二冷媒流道结构、第一三通调节阀和第二三通调节阀，所述第一流量阀的进水端与所述进水管路相连接，所述第一流量阀的出水端与所述第一三通调节阀的进水端相连接，所述第一三通调节阀的一个出水端连接于所述第一冷媒流道结构的进水端，所述第二三通调节阀的进水端连接于所述第一三通调节阀的另一个出水端和所述第一冷媒流道结构的出水端，所述第二三通调节阀的一个出水端连接于所述第二冷媒流道结构的进水端，所述出水管路连接于所述第二三通调节阀的另一个出水端和所述第二冷媒流道结构的出水端，所述第一流量阀用于调节所述冷媒流入所述第一控温支路的流量，所述第一三通调节阀用于调节所述冷媒流入所述第一冷媒流道结构的流量，所述第二三通调节阀用于调节所述冷媒流入所述第二冷媒流道结构的流量。
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