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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种定位夹具，其包括夹具本体、吸附机构以及侧面定位机构，夹具本体设有吸附槽，待定位件能覆盖吸附槽以配合形成吸附腔，吸附机构与吸附腔连通，并用于抽吸吸附腔内的气体，以吸附待定位件，侧面定位机构包括调节组件及连接于调节组件的两个夹持件，两个夹持件相对设置，并用于与待定位件相对的两个侧壁抵接，调节组件用于调节两个夹持件的相对位置，以使两个夹持件夹紧或松开待定位件，使待定位件稳定的固定于夹具本体上，进而使加工后的工件不变形，且平面度较高。
主权项：1.定位夹具，其特征在于，包括：夹具本体1，所述夹具本体1设有吸附槽11，待定位件100能覆盖所述吸附槽11以配合形成吸附腔；吸附机构，所述吸附机构与所述吸附腔连通，并用于抽吸所述吸附腔内的气体，以吸附所述待定位件100；侧面定位机构2，包括调节组件22及连接于所述调节组件22的两个夹持件21，两个所述夹持件21相对设置，并用于与所述待定位件100相对的两个侧壁抵接，所述调节组件22用于调节两个所述夹持件21的相对位置，以使两个所述夹持件21夹紧或松开所述待定位件100。
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