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申请/专利权人：科思微纳(苏州)科技有限公司
摘要：本发明公开了一种连续流紫外光化学反应石英玻璃芯片的制备方法，包括如下步骤：通过飞秒激光对石英玻璃表面进行直写改性，在石英玻璃表面加工微流道改性区域；将表面改性后的石英玻璃放入高温的混合熔盐中刻蚀处理，随后置于水中煮沸至石英玻璃表面显现出微结构；将两个石英玻璃的微结构对齐并贴合，然后进行预压键合；将键合后的石英玻璃在真空条件下进行退火处理，得到连续流紫外光化学反应石英玻璃芯片。本发明在石英玻璃表面进行飞秒激光直接改性，通过高温熔盐对改性区域刻蚀形成流道微结构，刻蚀选择比高达1:500以上，避免了未改性的石英玻璃表面粗糙度的增加及整体面型的改变，最后经预压键合形成微流道石英玻璃芯片，腐蚀效率高、键合良率高。
主权项：1.一种连续流紫外光化学反应石英玻璃芯片的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、通过飞秒激光对石英玻璃表面进行直写改性，在所述石英玻璃表面加工微流道改性区域；S2、将表面改性后的所述石英玻璃放入高温的混合熔盐中刻蚀处理，随后置于水中煮沸至石英玻璃表面显现出微结构；按质量百分比计，所述混合熔盐包括如下组分：硝酸钾40-50wt％，硝酸钠40-50wt％，氟化钠0-10wt％，氢氧化钾0-5wt％，氢氧化钠0-5wt％；S3、将两个所述石英玻璃的微结构对齐并贴合，然后进行预压键合；S4、将键合后的石英玻璃在真空条件下进行退火处理，得到所述连续流紫外光化学反应石英玻璃芯片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科思微纳(苏州)科技有限公司 一种连续流紫外光化学反应石英玻璃芯片的制备方法
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