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一种紫外半导体激光器 

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申请/专利权人:材料科学姑苏实验室

摘要:本发明公开了一种紫外半导体激光器,该紫外半导体激光器包括:衬底;外延结构,位于衬底一侧;外延结构包括激光出射层以及第一限制层;第一限制层位于激光出射层靠近衬底的一侧;第一限制层包括第一限制分部以及第二限制分部;第二限制分部位于第一限制分部远离衬底的一侧;第一限制分部包括光栅结构;第一限制分部包括n‑AlxGa1‑xN;第二限制分部包括n‑AlyGa1‑yN,其中0<x<y<1。通过在第一限制分部设置光栅结构,且光栅结构与第二限制分部中的Al组分不同,能够优化第一限制层的折射率,将激光集中在激光出射层,进而能够减少光损耗,提高紫外半导体激光器的输出功率。

主权项:1.一种紫外半导体激光器,其特征在于,包括:衬底;外延结构,位于所述衬底一侧;所述外延结构包括激光出射层以及第一限制层;所述第一限制层位于所述激光出射层靠近所述衬底的一侧;所述第一限制层包括第一限制分部以及第二限制分部;所述第二限制分部位于所述第一限制分部远离所述衬底的一侧;所述第一限制分部包括光栅结构;所述光栅结构包括n-AlxGa1-xN层;所述第二限制分部包括n-AlyGa1-yN层,其中,0<x<y<1。

全文数据:

权利要求:

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