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申请/专利权人：苏州益倍通新材料有限公司
摘要：本发明实施例公开了铕钡铜氧化物废靶回收再利用的方法，包括：对铕钡铜氧化物废靶进行预处理；将预处理后的铕钡铜氧化物废靶进行三次粉碎，得到纳米级颗粒；其中：第一次粉碎后将块状的铕钡铜氧化物废靶粉碎成铕钡铜氧化物毫米级颗粒；第二次粉碎后铕钡铜氧化物毫米级颗粒粉碎成铕钡铜氧化物微米级颗粒；第三次粉碎后将铕钡铜氧化物微米级颗粒制备成浆料，将浆料进行砂磨，得到铕钡铜氧化物纳米级颗粒；将铕钡铜氧化物纳米级颗粒与设定比例的水、分散剂、粘结剂混合，得到铕钡铜氧化物的质量含量为50～75％的浆料；铕钡铜氧化物浆料经压力注浆得到铕钡铜氧化物靶材素坯；铕钡铜氧化物靶材素坯经过干燥、脱脂和烧结处理，得到铕钡铜氧化物靶材。
主权项：1.铕钡铜氧化物废靶回收再利用方法，其特征在于，所述方法包括步骤：S1、对铕钡铜氧化物废靶进行预处理；S2、将预处理后的铕钡铜氧化物废靶进行三次粉碎，得到纳米级颗粒；其中：第一次粉碎后，将块状的铕钡铜氧化物废靶粉碎成铕钡铜氧化物毫米级颗粒；第二次粉碎后，铕钡铜氧化物毫米级颗粒粉碎成铕钡铜氧化物微米级颗粒；第三次粉碎后，将铕钡铜氧化物微米级颗粒制备成浆料，将浆料进行砂磨，得到铕钡铜氧化物纳米级颗粒；S3、将铕钡铜氧化物纳米级颗粒与设定比例的水、分散剂、粘结剂混合，得到铕钡铜氧化物浆料；其中，铕钡铜氧化物的质量含量为50～75％；S4、铕钡铜氧化物浆料经压力注浆得到铕钡铜氧化物靶材素坯；S5、铕钡铜氧化物靶材素坯经过干燥、脱脂和烧结处理，得到铕钡铜氧化物靶材。
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