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申请/专利权人：北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
摘要：本申请提供一种液体传输装置，包括：第一气动泵，包括第一液体腔室以及设置在所述第一液体腔室两侧的第一气体腔室，所述第一气体腔室设置有第一通气口，所述第一通气口连接有第一进气管路，用于向所述第一气体腔室内通入压缩空气，以为所述第一液体腔室内的液体运送提供动力；以及液位传感器，设置在所述第一进气管路靠近所述第一通气口的一端，用于检测所述第一进气管路内是否存在液体，所述液位传感器被配置为在未检测到所述液体时发送正常信号，以及在检测到所述液体时发送异常信号。本申请提供的液体传输装置可及时检测第一气动泵的漏液状况且不限制泵送的液体。
主权项：1.一种液体传输装置，其特征在于，包括：第一气动泵，包括第一液体腔室以及设置在所述第一液体腔室两侧的第一气体腔室，所述第一气体腔室设置有第一通气口，所述第一通气口连接有第一进气管路，用于向所述第一气体腔室内通入压缩空气，以为所述第一液体腔室内的液体运送提供动力；以及液位传感器，设置在所述第一进气管路靠近所述第一通气口的一端，用于检测所述第一进气管路内是否存在液体，所述液位传感器被配置为在未检测到所述液体时发送正常信号，以及在检测到所述液体时发送异常信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 一种液体传输装置
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