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申请/专利权人：上海楠栖新能源科技有限公司
摘要：本实用新型提供多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置，属于多晶硅加工装置技术领域，包括：冷却组件，所述冷却组件包括支撑底板，所述支撑底板的表面安装有安装架，本方案通过第三增压水泵将冷水箱内部的水吸出并通过第五输水管传输给还原炉底盘，从而对还原炉底盘进行降温，随后第一增压水泵将导热后的水抽出并通过第一输水管输送给冷却管，同时第二增压水泵通过第三输水管将冷水箱内部的水抽出，并通过第二输水管将水送至水冷塔的内部，此时水冷塔内部的水便会对冷却管和水资源进行降温，同时水流会通过第四输水管回到冷水箱的内部，此时经过冷却管的水会回到冷水箱的内部，此时在冷水器的作用下对水进行降温，从而实现水循环。
主权项：1.多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置，其特征在于，包括：冷却组件1，所述冷却组件1包括支撑底板101，所述支撑底板101的表面安装有安装架102，所述安装架102的表面安装有水冷塔103，所述水冷塔103的内部安装有冷却管104，所述水冷塔103的顶部安装有第一输水管105，所述水冷塔103的表面安装有安装板107，所述安装板107的表面安装有第一增压水泵108，所述支撑底板101的顶部安装有第二增压水泵109，所述第二增压水泵109出水端的表面安装有第二输水管110，所述第二增压水泵109进水端的表面安装有第三输水管111，所述水冷塔103的底部安装有第一排水管112，所述水冷塔103一侧的表面安装有第四输水管113，所述支撑底板101的底部安装有多个自锁式万向轮115；以及循环组件2，所述循环组件2包括安装于支撑底板101的表面冷水箱201，所述冷水箱201的表面安装有多个冷水器202，所述冷水箱201的表面安装有第三增压水泵203，所述第三增压水泵203的进水端延伸至冷水箱201的内侧，所述第三增压水泵203出水端的表面安装有第五输水管204，所述冷水箱201的内部安装有第一过滤网205，所述冷水箱201的内部且位于第一过滤网205的内侧第二过滤网206。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海楠栖新能源科技有限公司 多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置
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