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申请/专利权人：芯米(厦门)半导体设备有限公司

摘要：本发明公开了一种掩模板清洗机的夹持机构，包括底板和垫板，本发明通过设置了调节机构于底板底部，通过向前推动手轮带动齿条移动，并且齿条带动传动齿轮、调速齿轮和螺杆转动，此时移动块在螺杆的带动下进行垂直向下移动，同时移动块带动传动块和转块向下移动，而转块则通过拉绳拉动滑块和中空夹板向内移动进行调节，同时通过卡杆进入到手轮右侧相对应的卡槽内实现对中空夹持板的固定，达到了更加快速准确的将夹持机构上的夹持板进行调节，为工作带来方便的有益效果。

主权项：1.一种掩模板清洗机的夹持机构，包括底板1、垫板2和支架4，所述底板1顶端面四端设置有中空夹持板3，且所述底板1顶端面中部和底端面四端分别安装有所述垫板2和所述支架4；其特征在于：还包括调节机构5，所述调节机构5设置于底板1底部，所述调节机构5包括滑块51、第一弹簧52、滑槽53、外壳54、齿条55、固定机构56、传动齿轮57、调速齿轮58和螺杆59；所述滑块51紧固于所述中空夹持板3底端面中部，且所述滑块51滑动安装于所述底板1顶端面开设的所述滑槽53内侧，所述第一弹簧52两端分别固定连接于所述滑槽53内侧左端和所述滑块51左端面，所述外壳54锁固于所述底板1底端面中部，所述齿条55通过所述固定机构56紧固于所述外壳54内侧底端，所述传动齿轮57底端面中部通过转轴与所述外壳54内侧底端中部转动连接，且所述传动齿轮57左右端面分别与所述调速齿轮58右端面和所述齿条55左端面相互啮合，所述螺杆59外侧底端紧固于所述调速齿轮58内圈，且所述螺杆59外侧顶端与所述外壳54内侧顶端面左端转动连接；所述调节机构5还包括移动块510、传动块511、转块512和拉绳513；所述移动块510通过底端面左端开设的螺孔与所述螺杆59侧表面螺纹连接，所述传动块511安装于移动块510右端面，且所述传动块511垂直贯穿于所述外壳54内侧顶端面右端，所述转块512铰接于所述传动块511外侧顶端开设的转槽内侧，所述拉绳513两端分别紧固于所述滑块51外侧底端和所述转块512侧表面；所述固定机构56包括手轮561、推杆562、连接块563、滑动架564、第二弹簧565和卡杆566，所述手轮561穿过所述外壳54后端面底部后紧固于所述齿条55后端面中部，所述推杆562贯穿于所述手轮561后端面右端和所述外壳54后端面底部，且所述推杆562外侧前端贴合于所述连接块563左端面底部；所述连接块563滑动安装于所述外壳54内侧后端锁固的所述滑动架564上，所述第二弹簧565两端分别固定连接于所述连接块563右端面和所述滑动架564内侧右端面，所述卡杆566紧固于连接块563左端面中部，且所述卡杆566活动伸入于所述手轮561右端面开设的卡槽内侧；可向前推动推杆，使得推杆推动连接块向右移动，同时连接块带动卡杆向右移动脱离手轮右端设置的卡槽内侧，此时第二弹簧受到连接块的压力而压缩，然后通过向前推动手轮带动齿条移动，并且齿条带动传动齿轮、调速齿轮和螺杆转动，而移动块则在螺杆的带动下进行垂直向下移动，同时移动块带动传动块和转块向下移动，而转块则通过拉绳拉动滑块和中空夹板向内移动进行调节，然后取消对推杆的推力，使得卡杆受到第二弹簧的弹力向左移动进入到手轮右端开设的相对应的卡槽内侧进行固定，从而实现对中空夹持板位置的固定。

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