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申请/专利权人：株式会社东芝
摘要：根据实施方式，所涉及的传感器包括可动部件、第1对置电极、第2对置电极、第1电阻、第2电阻以及控制装置。可动部件包括第1电极和第2电极，能够进行振动。可动部件的振动包含第1方向的第1分量和第2方向的第2分量。第1电阻包括第1端部和第1另一端部。第2电阻包括第2端部和第2另一端部。第1另一端部与第1对置电极连接。第2另一端部与第2对置电极连接。控制装置包括实施第1动作的控制部。在第1动作中，变更第1电阻的电阻值、第2电阻的电阻值、第1端部的第1电压和第2端部的第2电压中的至少任一方，以使得第1分量的第1时间常数与第2分量的第2时间常数之差的绝对值减小。由此，提供能够提高精度的传感器。
主权项：1.一种传感器，具备：可动部件，其包括第1电极和第2电极、以及第1导电部和第2导电部，能够进行振动，所述振动包含沿第1方向的第1分量和沿第2方向的第2分量，所述第2方向与所述第1方向交叉；第1对置电极，其与所述第1电极对置；第2对置电极，其与所述第2电极对置；第1电阻，其包括第1端部和第1另一端部；第2电阻，其包括第2端部和第2另一端部；第1对置导电部，与所述第1导电部对置；第2对置导电部，与所述第2导电部对置；以及控制装置，所述第1另一端部与所述第1对置电极电连接，所述第2另一端部与所述第2对置电极电连接，所述控制装置包括能够实施第1动作和第2动作的控制部，所述第1动作包括：第1取得动作，取得所述第1分量和所述第2分量；以及第1变更动作，变更所述第1电阻的电阻值、所述第2电阻的电阻值、所述第1端部的第1电压和所述第2端部的第2电压中的至少任一方，以使得所述取得的所述第1分量的第1时间常数与所述取得的所述第2分量的第2时间常数之差的绝对值减小，所述第2动作包括：第2取得动作，取得所述第1分量和所述第2分量；以及第2变更动作，变更所述第1对置导电部的第1对置导电部电压和所述第2对置导电部的第2对置导电部电压中的至少任一方，以使得所述取得的所述第1分量的第1共振频率与所述取得的所述第2分量的第2共振频率之差的绝对值减小。
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