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复合式环抛机及其控制方法 

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申请/专利权人:深圳西可实业有限公司

摘要:本发明涉及研磨抛光设备技术领域,具体涉及一种复合式环抛机及其控制方法,复合式环抛机包括:上盘机构包括:转动盘、承载盘、多个上抛光组件;承载盘安装于转动盘,多个上抛光组件围绕转动盘安装;下盘机构包括:下研磨盘组件、太阳轮、外齿圈、多个游星轮;多个上抛光组件与多个游星轮一一对应;驱动机构包括:第一电机、第二电机、第一传动组件与第二传动组件;在第一电机的驱动下带动下研磨盘转动;在第二电机的驱动下带动太阳轮转动,以使多个游星轮围绕太阳轮转动;在第二电机的驱动下带动转动盘转动,以使多个上抛光组件围绕转动盘转动,其中,多个游星轮围绕太阳轮的公转速度与多个上抛光组件围绕转动盘的公转速度一致。

主权项:1.一种复合式环抛机,其特征在于,包括:工作台;机架,所述机架安装于所述工作台;上盘机构,包括:转动盘、承载盘、多个上抛光组件;所述转动盘安装于所述机架,所述承载盘安装于所述转动盘,所述多个上抛光组件围绕所述转动盘安装;下盘机构,包括:下研磨盘组件、太阳轮、外齿圈、多个游星轮;所述下研磨盘组件安装于所述工作台,所述太阳轮与多个所述游星轮安装于所述下研磨盘组件,所述外齿圈围绕所述下研磨盘组件的下研磨盘设置,多个所述游星轮设置于所述太阳轮与所述外齿圈之间且围绕所述太阳轮设置,并与所述太阳轮以及所述外齿圈啮合,多个所述上抛光组件与多个所述游星轮一一对应;驱动机构,包括:第一电机、第二电机、第一传动组件与第二传动组件;所述第一电机与所述第二电机安装于所述工作台;所述第一传动组件包括:下研磨盘传动齿轮、下研磨盘传动轴、太阳轮传动齿轮、太阳轮传动轴、上盘传动齿轮与上盘传动轴;所述第二传动组件包括:太阳轮加速齿轮、上盘减速齿轮、安装轴与安装座,所述太阳轮加速齿轮与所述上盘减速齿轮固定在所述安装轴,所述安装轴安装于所述安装座;所述第一电机的输出轴设置有下研磨盘研磨齿轮,所述第二电机的输出轴齿轮与所述太阳轮加速齿轮啮合;所述下研磨盘传动齿轮与所述下研磨盘传动轴固定连接,所述太阳轮传动齿轮与所述太阳轮传动轴固定连接,所述上盘传动齿轮与所述上盘传动轴固定连接,所述下研磨盘传动轴、所述太阳轮传动轴与所述上盘传动轴由外到内依次套设且通过轴承隔离,所述下研磨盘研磨齿轮、所述太阳轮加速齿轮与所述上盘减速齿轮分别与所述下研磨盘传动齿轮、太阳轮传动齿轮以及上盘传动齿轮啮合;所述下研磨盘传动轴与所述下研磨盘组件的下研磨盘固定连接,用于在所述第一电机的驱动下带动所述下研磨盘转动;所述太阳轮传动轴与所述太阳轮固定连接,用于在所述第二电机的驱动下带动所述太阳轮转动,以使多个所述游星轮围绕所述太阳轮转动;所述上盘传动轴与所述转动盘固定连接,用于在所述第二电机的驱动下带动所述转动盘转动,以使多个所述上抛光组件围绕所述转动盘转动,其中,多个所述游星轮围绕所述太阳轮的公转速度与多个上抛光组件围绕所述转动盘的公转速度一致;所述上抛光组件包括:上抛光盘与真空管;所述上抛光盘设置有真空吸孔,所述真空管的一端与所述真空吸孔连接,所述真空管的另一端与真空机连接;在单面抛光模式下,所述上抛光盘通过所述真空机与所述真空管将工件真空吸附固定;所述上抛光组件还包括:上抛光盘安装座、上抛光盘电机、上抛光盘传动轴与上抛光盘传动齿轮;所述上抛光盘电机与所述上抛光盘传动轴安装于所述上抛光盘安装座,所述上抛光盘电机的输出轴设置有上抛光盘转动齿轮,所述上抛光盘转动齿轮与所述上抛光盘传动齿轮啮合;所述上抛光盘传动轴的一端与所述上抛光盘传动齿轮固定连接,所述上抛光盘传动轴的另一端与所述上抛光盘固定连接,用于在所述第二电机的驱动下带动所述上抛光盘转动;所述上抛光组件还包括:上抛光盘升降气缸、压力传感器与导轨;所述上抛光盘升降气缸与所述导轨安装于所述承载盘;所述上抛光盘升降气缸的输出轴与所述上抛光盘安装座传动连接,所述压力传感器设置于所述上抛光盘升降气缸的输出轴与所述上抛光盘安装座之间;所述上抛光盘安装座通过滑块与所述导轨滑动连接。

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