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申请/专利权人：深圳市联合蓝海应用材料科技股份有限公司;季华实验室

摘要：本申请实施例提供一种电镀仿真模型构建及仿真方法、装置、处理器及存储介质，涉及虚拟仿真技术领域，电镀仿真模型构建方法包括：对目标电镀设备的电镀腔体进行几何建模，得到几何模型；确定几何模型的仿真参数信息；确定几何模型的目标物理场及目标物理场的初边值条件，并基于目标物理场进行多物理场耦合，构建出电镀仿真模型；其中，目标物理场包括三次电流分布物理场、层流物理场和电极壳物理场。本申请通过更全面地考虑各种因素对镀层形成过程的影响，提高了仿真结果的准确性和可靠性，从而便于相关人员基于仿真结果提高产品质量和生产效率。

主权项：1.一种电镀仿真模型构建方法，其特征在于，所述方法包括：对目标电镀设备的电镀腔体进行几何建模，得到几何模型；确定所述几何模型的仿真参数信息；确定所述几何模型的目标物理场及所述目标物理场的初边值条件，并基于所述目标物理场进行多物理场耦合，构建出电镀仿真模型；其中，所述目标物理场包括三次电流分布物理场、层流物理场和电极壳物理场，所述基于所述目标物理场进行多物理场耦合包括：将三次电流分布物理场、层流物理场和电极壳物理场三个物理场进行耦合；其中，所述目标电镀设备包括电镀壳，所述电镀壳内为中空结构的电镀腔体；所述电镀腔体内上部自上而下依次设置有晶圆、阴极和液体通道，所述电镀腔体内下部设置有阳极；所述液体通道的进口端位于所述电镀壳的内侧壁并连通所述电镀腔体，所述液体通道的出口端位于所述电镀壳的外侧壁；所述阳极上设置有开口，以将电镀液注入所述电镀腔体中；其中，所述三次电流分布物理场的初边值条件包括：设置物质电荷和电镀液浓度、电镀液的流入边界为所述阳极的开口处、电镀液的流出边界为所述液体通道、电极表面为所述阴极、外部电位由所述电极壳物理场给出；在电极表面子节点电极反应节点中，设置化学计量系数和参与电子数；利用Butler-Volmer方程确定电化学反应速率，且利用Butler-Volmer方程确定电化学反应速率时的交换电流密度和阳极传递系数；对所述阳极区域施加电解质电流。

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