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申请/专利权人：浙江理工大学
摘要：本发明涉及发光材料技术领域，具体涉及铽掺杂氧化锡薄膜及其制备方法，包括以下步骤：步骤一，将锡盐和铽盐溶解于溶剂中，得到溶液A；步骤二，将溶液A旋涂在衬底上制备成膜，并放在加热台上以第一温度加热，获得基于衬底的薄膜；步骤三，将步骤二获得基于衬底的薄膜采用快速热退火设备在第二温度下进行退火处理，获得基于衬底的铽掺杂氧化锡薄膜，其中，所述铽掺杂氧化锡薄膜为光致发光材料，所述第二温度大于所述第一温度。该方法制备工艺简单，对设备要求低，可控程度高，与传统的管式炉热处理工艺相比，该制备方法在制备过程涉及到的热预算少，且产品具有优良的光致发光性能。
主权项：1.一种铽掺杂氧化锡薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，将锡盐和铽盐溶解于溶剂中，得到溶液A；步骤二，将溶液A旋涂在衬底上制备成膜，并放在加热台上以第一温度加热，获得基于衬底的薄膜；步骤三，将步骤二获得基于衬底的薄膜采用快速热退火设备在第二温度下进行退火处理，快速热退火的升温度速度为200℃s；降温的速度为100-200℃s，获得基于衬底的铽掺杂氧化锡薄膜，其中，所述铽掺杂氧化锡薄膜为光致发光材料，所述第二温度大于所述第一温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江理工大学 铽掺杂氧化锡薄膜及其制备方法
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