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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种检查装置，其用于对检查对象器件进行检查，所述检查对象器件是光从背面入射的背面照射型的拍摄器件，形成于检查对象体，所述拍摄器件的所述背面是与设置有配线层的一侧相反的一侧的面，所述检查装置包括载置台，该载置台以与所述拍摄器件的所述背面相对的方式支承所述检查对象体，所述载置台具有：由透光材料形成的、能够载置所述检查对象体的顶板；由透光材料形成的基座部件，该基座部件以在其与所述检查对象体之间隔着所述顶板与所述检查对象体相对的方式配置，在所述基座部件与所述顶板之间形成有能够被排气的空间；和光照射机构，该光照射机构以在其与所述检查对象体之间隔着所述顶板和所述基座部件与所述检查对象体相对的方式配置，向所述检查对象体照射光，所述顶板由平均孔径为30nm以下或10μm以上的多孔玻璃构成。
主权项：1.一种检查装置，其用于对检查对象器件进行检查，所述检查装置的特征在于：所述检查对象器件是光从背面入射的背面照射型的拍摄器件，形成于检查对象体，所述拍摄器件的所述背面是与设置有配线层的一侧相反的一侧的面，所述检查装置包括载置台，该载置台以与所述拍摄器件的所述背面相对的方式支承所述检查对象体，所述载置台具有：由透光材料形成的、能够载置所述检查对象体的顶板；由透光材料形成的基座部件，该基座部件以在其与所述检查对象体之间隔着所述顶板与所述检查对象体相对的方式配置，在所述基座部件与所述顶板之间形成有能够被排气的空间；和光照射机构，该光照射机构以在其与所述检查对象体之间隔着所述顶板和所述基座部件与所述检查对象体相对的方式配置，能够向所述检查对象体照射光，所述顶板由平均孔径为30nm以下或10μm以上的多孔玻璃构成。
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