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申请/专利权人：上海原力芯辰科技有限公司
摘要：本申请提供了一种喷淋系统及板式设备，涉及半导体设备技术领域。该喷淋系统包括框架和设置于框架上的多个第一喷气模块，多个第一喷气模块沿第一方向均匀间隔排布，每个第一喷气模块内设置有多个依次排布的第一缓冲腔室，多个第一缓冲腔室之间依次连通，每个第一喷气模块上均设置有第一进气口和第一出气口，在第二方向上，第一进气口和第一出气口分别与位于两端的两个第一缓冲腔室相连通，其能够较好地保证成膜的均匀性。
主权项：1.一种喷淋系统，其特征在于，包括框架1和设置于所述框架1上的多个第一喷气模块2，多个所述第一喷气模块2沿第一方向均匀间隔排布，每个所述第一喷气模块2内设置有多个依次排布的第一缓冲腔室21，多个所述第一缓冲腔室21之间依次连通，每个所述第一喷气模块2上均设置有第一进气口22和第一出气口23，在第二方向上，所述第一进气口22和所述第一出气口23分别与位于两端的两个所述第一缓冲腔室21相连通；其中，所述第二方向为多个所述第一缓冲腔室21的排布方向，所述第二方向与所述第一方向相垂直。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海原力芯辰科技有限公司 喷淋系统及板式设备
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