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申请/专利权人：芜湖义柏载具精密技术有限公司
摘要：本实用新型公开了一种分隔槽耐磨的晶圆运输盒，包括：壳体以及与所述壳体连接的盖体，壳体于相对的两内壁上均设有分隔槽，用于存放晶圆，分隔槽内设有水平凸筋，用于减少晶圆与分隔槽的接触面，分隔槽的末端设有垂直凸筋，盖体于朝向所述壳体的侧壁上设有回弹部，通过回弹部和垂直凸筋对应与晶圆两侧抵接，以将晶圆夹持于回弹部与垂直凸筋之间；该实用新型具备提高晶圆良品率以及节约制造运输盒成本的特点。
主权项：1.一种分隔槽耐磨的晶圆运输盒，其特征在于，包括：壳体以及与所述壳体连接的盖体，所述壳体于相对的两内壁上均设有分隔槽，用于存放晶圆，所述分隔槽内设有水平凸筋，用于减少晶圆与分隔槽的接触面，所述分隔槽的末端设有垂直凸筋，所述盖体于朝向所述壳体的侧壁上设有回弹部，通过所述回弹部和所述垂直凸筋对应与晶圆两侧抵接，以将晶圆夹持于所述回弹部与所述垂直凸筋之间。
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权利要求：
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