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一种用于多晶硅高沸釜的干气密封装置 

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申请/专利权人:成都一通密封股份有限公司

摘要:本实用新型公开了一种用于多晶硅高沸釜的干气密封装置,涉及反应釜密封技术领域。该用于多晶硅高沸釜的干气密封装置包括套设在旋转轴上的轴套、可拆卸安装在高沸釜顶盖上的连接盘以及弹性唇封,弹性唇封安装在连接盘上,弹性唇封与轴套密封。通入密封气后,一部分密封气流至弹性唇封与轴套之间的密封处,密封气在此处积压,持续通入密封气,直至弹性唇封与轴套之间的密封处的密封气的气压逐渐增大,直至密封气的气压大于废气的气压,将弹性唇封与轴套之间的通道打开,阻止废气以及随废气泄露的粉末与密封接触,从而减小密封端面被损坏的几率,延长密封的使用寿命。因此,本实用新型实提供的用于多晶硅高沸釜的干气密封装置的密封端面不易被损坏。

主权项:1.一种用于多晶硅高沸釜3的干气密封装置,其特征在于,包括套设在旋转轴1上的轴套2、可拆卸安装在高沸釜3顶盖上的连接盘4以及弹性唇封5,所述弹性唇封5安装在所述连接盘4上,且所述弹性唇封5与所述轴套2密封。

全文数据:

权利要求:

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