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申请/专利权人：安徽易芯半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种支持三目机器视觉的水冷长晶炉下炉体，涉及半导体硅材料生产技术领域，包括：相互连接形成炉腔的第一下炉体和第二下炉体，所述第一下炉体的顶端设有出料口，所述出料口一侧设有机器视觉观察口，所述机器视觉观察口至少为三组，且三组机器视觉观察口环形排布于所述第一下炉体的顶端，所述第一下炉体的一侧设有楞线观察口；所述第二下炉体内设有冷却腔，且所述第二下炉体一侧分别设有入水口和出水口。有益效果：稳定下炉体内压和稳定下炉体温度，同时也降低高温分别机器视觉观察口和楞线观察口的损坏，确保观察条件的稳定性和可靠性，显著提升生产效率、降低能耗、增强生产稳定性。
主权项：1.一种支持三目机器视觉的水冷长晶炉下炉体，其特征在于，包括：相互连接形成炉腔3的第一下炉体1和第二下炉体2，其中；所述第一下炉体1的顶端设有出料口4，所述出料口4一侧设有机器视觉观察口5，所述机器视觉观察口5至少为三组，且三组机器视觉观察口5环形排布于所述第一下炉体1的顶端，所述第一下炉体1的一侧设有楞线观察口6；所述第二下炉体2内设有冷却腔7，且所述第二下炉体2一侧分别设有入水口8和出水口9，所述入水口8和所述出水口9分别与所述冷却腔7连通。
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权利要求：
百度查询： 安徽易芯半导体有限公司 一种支持三目机器视觉的水冷长晶炉下炉体
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