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申请/专利权人：苏州晶洲装备科技有限公司
摘要：本实用新型涉及显示装置加工技术领域，公开一种显影液在线监测装置。该显影液在线监测装置包括显影液储罐、取样模块、检测模块和加液模块，显影液储罐上设置有出液口和进液口，显影液储罐的出液口和进液口分别连通显影腔室的进口和出口，以形成显影液循环回路，显影液储罐上还设置有取液口；取样模块的进口连通显影液储罐的取液口；检测模块包括并联连接的密度检测仪和浓度检测仪，密度检测仪的进口和浓度检测仪的进口均连通于取样模块的出口；加液模块被配置为向显影液储罐中补充显影液。所述显影液在线监测装置可以对显影液的浓度进行在线监测，以根据检测结果对显影液浓度进行调整，从而保证显影效果。
主权项：1.一种显影液在线监测装置，其特征在于，包括：显影液储罐100，其上设置有出液口和进液口，所述出液口和所述进液口分别连通显影腔室的进口和出口，以形成显影液循环回路，所述显影液储罐100上还设置有取液口101；取样模块200，所述取样模块200的进口连通所述取液口101；检测模块300，包括并联连接的密度检测仪301和浓度检测仪302，所述密度检测仪301的进口和所述浓度检测仪302的进口均连通于所述取样模块200的出口；加液模块400，被配置为向所述显影液储罐100中补充显影液。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州晶洲装备科技有限公司 一种显影液在线监测装置
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