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一种PERC高效氧化铝钝化膜层结构 

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申请/专利权人:常州亿晶光电科技有限公司

摘要:本实用新型提供一种PERC高效氧化铝钝化膜层结构,包括硅片,硅片的背面依次设有二氧化硅膜、氧化铝膜和氮化硅膜;二氧化规模用于提高负电荷AlO4‑的生成量。由于二氧化硅膜本身是四面体结构,所以在二氧化硅表面沉积氧化铝膜,更容易沉积出相同四面体结构的负电荷AlO4‑;而正电荷Al3+是八面体结构,难以在四面体结构的基础上生成,进而降低了正电荷的量,提高了负电荷的密度,提高了场钝化效果。

主权项:1.一种PERC高效氧化铝钝化膜层结构,包括硅片1,其特征在于:所述硅片1的背面依次设有二氧化硅膜2、氧化铝膜3和氮化硅膜;所述二氧化硅膜2用于提高负电荷AlO4-的生成量。

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百度查询: 常州亿晶光电科技有限公司 一种PERC高效氧化铝钝化膜层结构

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