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申请/专利权人：华南农业大学
摘要：本发明提供一种高分辨率透射电子显微镜像的像差确定方法及装置，针对已知样本采集HRTEM实验像并重建预设晶态材料后表面的平均出射波函数，通过调节平均出射波函数的像差参数得到中间波函数，利用中间波函数生成预设晶态材料后表面的模拟像，通过多轮迭代调节寻找模拟像与实验像相似符合要求的像差参数，并基于模拟像和实验像中的缺陷信息进一步调节二阶慧差提高像差参数的精度，以最终得到高分辨率透射电子显微镜像的检出像差。本申请针对小区域电镜像求解像差参数，克服了传统方法采用非晶像求解像差过程繁杂且偏差较高的问题，可以大大缩小研究人员手动对比寻找像差参数的时间，节约人力成本和时间成本。
主权项：1.一种高分辨率透射电子显微镜像的像差确定方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：在相同条件下采用目标高分辨率透射电子显微镜获取预设晶态材料在多个焦距下的实验像；根据各实验像重建所述预设晶态材料后表面的平均出射波函数；在设定范围内调节所述平均出射波函数的像差参数得到中间波函数，并在同等条件下生成所述预设晶态材料后表面的模拟像；针对至少2个所述预设晶态材料原子单胞面积的实验像，通过计算所述模拟像与所述实验像的中原子像的形状相似性以及比对原子缺陷位置一致性指导调节所述像差参数，使所述中间波函数在同等条件下的模拟像逼近所述实验像直至满足预设条件，并将调节得到的像差参数输出为所述目标高分辨率透射电子显微镜像的检出像差；其中，调节二阶慧差使所述预设晶态材料的原子缺陷位置一致，调节除所述二阶慧差以外的其他像差因素使所述模拟像与所述实验像的中原子像的形状一致。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华南农业大学 一种高分辨率透射电子显微镜像的像差确定方法及装置
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