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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要：本发明公开了一种用于液相外延工艺中的母液测温装置及测温方法，此测温装置包括测温机构、升降机构、固定机构和密封机构，所述测温机构通过所述固定机构固定于所述升降机构上，所述升降机构位于外舟上；所述密封机构密封套设于所述测温机构上，并与内舟的支撑管密封对接，以实现内舟内部腔体的密封。本发明具有结构简单、密封性好、测温精准可靠且灵活等优点。
主权项：1.一种用于液相外延工艺中的母液测温装置，其特征在于，包括测温机构（1）、升降机构（2）、固定机构（3）和密封机构（4），所述测温机构（1）通过所述固定机构（3）固定于所述升降机构（2）上，所述升降机构（2）位于外舟上；所述密封机构（4）密封套设于所述测温机构（1）上，并与内舟（5）的支撑管（501）密封对接，以实现内舟（5）内部腔体的密封；所述测温机构（1）包括测温热电偶（101）和测温套管（102），所述测温热电偶（101）吊设于所述测温套管（102）内；所述密封机构（4）包括内套管（41）、外套管（42）和固定件（43），所述固定件（43）紧固于内舟（5）的支撑管（501）上，所述内套管（41）套设于所述测温套管（102）上，所述内套管（41）的一端设有与所述测温套管（102）相适配的第一轴孔，所述内套管（41）的另一端设有与所述第一轴孔相连通的第二轴孔，所述第二轴孔的孔径大于所述第一轴孔的孔径，所述第二轴孔内设置有第一密封组件（44），所述内套管（41）于第二轴孔一侧的端部设有压紧螺母（48），所述压紧螺母（48）与所述第二轴孔螺纹连接来压紧第一密封组件（44），以实现内套管（41）与测温套管（102）之间的密封；所述内套管（41）的一端与内舟（5）的支撑管（501）之间设置有第二密封组件（45），所述外套管（42）套设于所述内套管（41）的外侧，且内套管（41）的外侧设置有台阶，所述外套管（42）的一端与台阶相抵，且外套管（42）和固定件（43）相连来压紧第二密封组件（45），以实现内套管（41）与支撑管（501）之间的密封。
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百度查询： 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于液相外延工艺中的母液测温装置及测温方法
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