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申请/专利权人：四川富乐华半导体科技有限公司

摘要：本发明公开了一种氮化硅板的边废掰料机构及划线除废系统，涉及切割设备技术领域，可解决目前氮化硅板在去除划线后的边废时需要人工掰断，操作麻烦，效率低的问题。本发明实施例的一种氮化硅板的边废掰料机构，包括倒立设置的直线驱动结构和设置于直线驱动结构输出端的掰料结构，其中：掰料结构包括至少两块平行设置的掰料板；所述掰料板的底部为依次连接的第一掰料面、第二掰料面和第三掰料面；第一掰料面、第二掰料面和第三掰料面分别为水平面、倾斜面和水平面；第一掰料面、第二掰料面和第三掰料面用于在掰料过程中依次对边废的外部区域、中部区域和边缝边缘区域施加作用力。

主权项：1.一种氮化硅板的划线除废系统，包括边废掰料机构，其特征在于，还包括工作台（3），以及设于工作台（3）上的十字直线电机平台（6）；设于十字直线电机平台（6）上的物料放置机构（2）；两个分别设于十字直线电机平台（6）两侧的上下料机构（4）；设于十字直线电机平台（6）上方的搬料机构（5）和激光切割机构（7）；所述边废掰料机构（1）设于十字直线电机平台（6）上方；所述物料放置机构（2）包括用于吸附住物料的负压吸附平台（21），以及套装在负压吸附平台（21）上并具有回型存料槽（244）的回型废料盒（24）；所述物料放置机构（2）还包括套装在负压吸附平台（21）上的放料斜板（23）；在物料放置机构（2）位于边废掰料机构（1）正下方的情况下，放料斜板（23）位于掰料板（13）的正下方；所述回型废料盒（24）包括固定连接的外回型板（241）、内回型板（242）和底回型板（243），放料斜板（23）的底部位于内回型板（242）的斜上方；所述外回型板（241）的顶部高于内回型板（242）；所述内回型板（242）的顶部为倾斜面；还包括设于外回型板（241）的四个外侧壁上的四个校位组件（25），校位组件（25）包括：固定于外回型板（241）外侧壁上的校位气缸，以及设置于校位气缸输出端上的推料辊轮（251）；所述上下料机构（4）包括水平设置的放料板（41）；所述放料板（41）上设置有沿工作台（3）前后端分布的两个放料工位，两个放料工位的周侧设置有围料挡板（42）；还包括竖向设置的旋转驱动（43），放料板（41）设置于旋转驱动（43）的输出端上；所述搬料机构（5）包括水平设置并具有两个输出端的直线运动模组（51），以及两个分别靠近两个上下料机构（4）设置的搬运机械手（52），两个搬运机械手（52）分别设置在直线运动模组（51）的两个输出端上；所述工作台（3）上还设置有门型架（31）；门型架（31）上设置有支撑杆（8）；所述搬料机构（5）通过门型架（31）和支撑杆（8）水平设置在十字直线电机平台（6）上方；所述激光切割机构（7）包括设于门型架（31）上的调焦Z轴气缸（71）和竖向设置于调焦Z轴气缸（71）输出端上的激光头安装板（72）；激光切割机构（7）还包括设于激光头安装板（72）上的抓靶相机（73）和倒立设置的激光切割头（74），以及靠近激光切割头（74）设置的抽尘结构（75）；所述边废掰料机构包括倒立设置的直线驱动结构和设置于直线驱动结构输出端的掰料结构，其中：掰料结构包括至少两块平行设置的掰料板（13），以及固定在直线驱动结构输出端的连接板（12）；所述掰料板（13）设置有四块，四块掰料板（13）均竖向设置连接板（12）底部，且四块掰料板（13）所对应的延伸面可围合成矩形；还包括设置在掰料结构底部的压料结构（14）；所述压料结构（14）的底面为回型压边面（141）；所述压料结构位于四块掰料板（13）围合成的矩形内。

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