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申请/专利权人：芯米(厦门)半导体设备有限公司
摘要：本发明公开了一种承载晶圆的防翘曲装置，其结构包括晶圆盒、凹槽、放置槽、底板、通槽和调节定位装置，本发明通过将调节定位装置设置于通槽内侧中部，便可通过第一旋钮带动第一螺纹杆在螺纹座上进行转动，使得连接座上的固定夹沿着限位座进行前后滑动，实现对固定的直径距离进行调节，再对活动夹沿着横杆上的滑槽上进行左右滑动，并且通过第二旋钮带动第二螺纹杆进行螺纹固定，实现对固定的左右间距进行调节，便于调节，固定性强，通过横杆前端中部设置有限位槽，并且限位槽内径表面与活动夹进行滑动配合，便于进行限位滑动，保证滑动的稳定性。
主权项：1.一种承载晶圆的防翘曲装置，包括晶圆盒1、凹槽2和放置槽3，所述晶圆盒1顶端中部嵌入有凹槽2；其特征在于：还包括调节定位装置6，所述调节定位装置6设置于通槽5内侧中部，所述调节定位装置6包括第一旋钮61、第一螺纹杆62、螺纹座63、限位座64、连接座65、横杆66、固定夹67、滑槽68和固定机构69，所述第一旋钮61前端中部与所述第一螺纹杆62相连接，所述第一螺纹杆62外径表面与所述螺纹座63螺纹配合，所述螺纹座63与所述限位座64顶部后端相互固定，所述第一螺纹杆62外侧前端与所述连接座65转动配合，所述连接座65与所述横杆66后端中部紧密固定，所述横杆66前端中部通过螺栓与所述固定夹67锁紧固定，所述横杆66左右两端内中部穿设有所述滑槽68，所述滑槽68内侧中部设置有所述固定机构69；所述螺纹座63与所述通槽5内侧中部相互固定；所述凹槽2内侧左右两端嵌入有放置槽3，所述晶圆盒1后端中部贯穿有所述通槽5；所述固定机构69包括第二旋钮691、第二螺纹杆692和活动夹693，所述第二旋钮691前端中部与第二螺纹杆692相连接，所述第二螺纹杆692与活动夹693后端中部螺纹配合。
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权利要求：
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