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申请/专利权人：武汉大学
摘要：本发明提供了一种基于数字孪生的半球形结构陀螺仪Ar离子抛光修正装置。包括：真空腔；转动机构，设置在真空腔的底部，可控制固定在转动机构上的被抛光物体进行转动；Ar离子束发射单元，用于抛光被抛光物体；检测组件，包括粗糙度检测单元、损伤检测单元和振动检测单元，用于检测被抛光物体的粗糙度，检测被抛光物体的表面损伤，检测被抛光物体的振动性；数字孪生平台，用于获取检测组件检测到的粗糙度、表面损伤和振动性，并根据粗糙度、表面损伤和振动性对抛光过程进行分析模拟，以生成调控指令，调控指令用于调控Ar离子束发射单元的Ar离子束能量、Ar离子束的角度和转动机构的转速。
主权项：1.一种基于数字孪生的半球形结构陀螺仪Ar离子抛光修正装置，其特征在于，包括：真空腔；转动机构，设置在所述真空腔的底部，可控制固定在转动机构上的被抛光物体进行转动；Ar离子束发射单元，所述Ar离子发射单元用于朝所述被抛光物体发射Ar离子，以抛光所述被抛光物体；检测组件，包括粗糙度检测单元、损伤检测单元和振动检测单元，所述粗糙度检测单元用于检测所述被抛光物体的粗糙度，所述损伤检测单元用于检测被抛光物体的表面损伤，所述振动检测单元用于检测被抛光物体的振动性；数字孪生平台，用于获取检测组件检测到的粗糙度、表面损伤和振动性，并根据所述粗糙度、所述表面损伤和所述振动性对抛光过程进行分析模拟，以生成调控指令，所述调控指令用于调控Ar离子束发射单元的Ar离子束能量、Ar离子束的角度和转动机构的转速。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉大学 基于数字孪生的半球形结构陀螺仪Ar离子抛光修正装置
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