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申请/专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要：本发明公开了一种集成式微波探测器件及其制作方法，通过本申请的制作方法，能将磁电天线与磁性隧道结进行片上集成整合，且能确保器件本身以及两个结构之间的绝缘，保证器件的一致性。一方面，使得两个结构实现了高度集成，免去了信号接收模块与整流探测模块之间的信号传递衰减；另一方面，使得片上的集成微纳器件可以直接探测或收集环境中的电磁波信号，在提高微波系统集成度的同时，摆脱了对大尺寸传统天线的依赖。
主权项：1.一种集成式微波探测器件，其特征在于，包括一支撑层、集成于所述支撑层表面的磁电天线和磁性隧道结；所述支撑层的表面形成有第一区域和第二区域，所述支撑层背离所述磁电天线和磁性隧道结的一侧形成有声波反射结构；所述磁电天线位于所述第一区域内，所述磁电天线包括依次层叠设置于所述支撑层表面的底电极层，压电层以及磁致伸缩层；所述磁性隧道结位于所述第二区域内，所述磁性隧道结包括沿远离所述支撑层方向依次层叠设置的磁性钉扎层、势垒层和磁性自由层；所述磁性隧道结与所述磁电天线之间电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 集成式微波探测器件及其制作方法
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