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申请/专利权人：中国科学院半导体研究所
摘要：本公开提出了一种疏水性宽带减反射涂层的制备方法，包括：将基底放置于带有加热装置的沉积腔室中；基于引发式化学气相沉积技术，向沉积腔室中通入包括引发剂、第一单体和第二单体的第一气体组，引发剂受热分解产生的自由基与第一单体和第二单体在沉积腔室中扩散吸附于基底表面，调控第一气体组的流量比及沉积腔室的压强，以使第一单体发生第一自由基聚合反应，其中，第二单体作为交联剂以使第一自由基聚合反应趋向侧链结晶，在基底表面形成具有蛾眼纳米结构的疏水性宽带减反射涂层。
主权项：1.一种疏水性宽带减反射涂层的制备方法，包括：将基底放置于带有加热装置的沉积腔室中；基于引发式化学气相沉积技术，向所述沉积腔室中通入包括引发剂、第一单体和第二单体的第一气体组，所述引发剂受热分解产生的自由基与所述第一单体和所述第二单体在所述沉积腔室中扩散吸附于所述基底表面，调控所述第一气体组的流量比及所述沉积腔室的压强，以使所述第一单体发生第一自由基聚合反应，其中，所述第二单体作为交联剂以使所述第一自由基聚合反应趋向侧链结晶，在所述基底表面形成具有蛾眼纳米结构的疏水性宽带减反射涂层。
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权利要求：
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