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申请/专利权人：中国科学院理化技术研究所

摘要：本发明提供式I所示基于金刚烷的叔醇类单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用。所述化合物可作为化学放大型单分子树脂光刻胶主体材料使用，该主体材料保留有树脂本身所具有的成膜特性和易于加工的性能，同时还具有确定的分子结构，易于合成和修饰，可满足高分辨光刻的要求，所得到的图案具有高的分辨率和灵敏度。

主权项：1.式I所示的化合物： 其中，R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17、R18、R19、R20相同或不同，各自独立地选自-COHRARB、-O-C1-15烷基-COHRARB、-O-C1-15烷基-C6-20芳基-COHRARB、，或基团Z，所述基团Z为H、未取代或任选被一个、两个或更多个RS取代的如下基团：C1-15烷基、C1-15烷氧基、C3-20环烷基、C6-20芳基、5-20元杂芳基、3-20元杂环基、-C1-15烷基-C6-20芳基、-C1-15烷基-5-20元杂芳基、-C1-15烷基-CO-C6-20芳基、-C1-15烷基-CO-5-20元杂芳基、-C1-15烷基-CO-C1-15烷基、-C1-15烷基-CO-C3-20环烷基；R选自-O-C1-15烷基-COHRARB、-O-C1-15烷基-C6-20芳基-COHRARB、或如上所述基团Z；RS选自＝O、NO2、C1-15烷基、C1-15烷氧基、C3-20环烷基、C6-20芳基、5-20元杂芳基；RA、RB相同或不同，各自独立地选自未取代，或被一个、两个或更多个RC取代的如下基团：C1-15烷基、C6-20芳基、-C1-15烷基-C6-20芳基、5-20元杂芳基、氘代C1-15烷基，或者RA、RB和与其相连的碳原子一起形成未取代或任选被一个、两个或更多个RC取代的5-8元环烷基；所述的RA和RB至少一个为烷基基团；所述5-8元环烷基任选地再含有1-2个氧或硫；RC相同或不同，彼此独立地选自H、氧代＝O、NO2、CN、C1-15烷基、C1-15烷氧基；且式I化合物中具有1个以上的如下基团：-COHRARB、-O-C1-15烷基-COHRARB、-O-C1-15烷基-C6-20芳基-COHRARB。

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