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基于夏克哈特曼传感器的波像差和色像差测量系统及方法 

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申请/专利权人:北京理工大学

摘要:本发明公开的基于夏克哈特曼传感器的波像差和色像差测量系统及方法,属于光学检测领域。本发明包括卤素氙灯光源、光纤、反射式平行光管、第一五维调整台、待测光学成像系统、第二五维调整台、夏克哈特曼波前传感器。待测光学成像系统是波像差和色像差测量对象。夏克哈特曼波前传感器包括准直透镜、微透镜阵列、图像传感器。微透镜阵列被分子孔径镀膜,不同子透镜交替镀有不同波段的增透膜。本发明通过同时测量不同波长光的波前,能够计算得到光学系统在各个波长下的波像差,并根据这些波前之间离焦量和整体倾斜量的差别,计算得到轴向色差和垂轴色差,波像差和色像差的集成测量使得测量结果更完整,更全面地评估待测光学成像系统成像性能。

主权项:1.一种基于夏克哈特曼传感器的波像差和色像差测量系统,其特征在于:包括卤素氙灯光源、光纤、反射式平行光管、第一五维调整台、待测光学成像系统、第二五维调整台、夏克哈特曼波前传感器;所述待测光学成像系统是波像差和色像差测量对象;所述夏克哈特曼波前传感器包括准直透镜、微透镜阵列、图像传感器;所述微透镜阵列被分子孔径镀膜,不同子透镜交替镀有不同波段的增透膜,通过增透膜使得子透镜只能透射指定波段的光束;所述不同波段指属于图像传感器工作波长范围内的窄带光,窄带光的中心波长根据测量需求确定。

全文数据:

权利要求:

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