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申请/专利权人：保定景欣电气有限公司
摘要：本申请涉及半导体制造技术领域，本申请公开了一种单晶硅生产停电后的复电恢复方法、装置、设备及介质，所述方法包括：在电源柜断电后，监测电源柜是否复电；电源柜用于连接外网电并将外网电提供给单晶炉设备，单晶炉设备用于生产单晶硅；且，单晶炉设备在电源柜断电后从不间断电源获得电能；在监测到电源柜复电的情况下，获得复电所用时长，复电所用时长表征从电源柜断电到复电的持续时长；根据复电所用时长，获得复电恢复规则；复电恢复规则包含单晶炉设备对应的每个生产系统对应的恢复运行参数；生产系统用于支撑单晶炉设备生产单晶硅；按照复电恢复规则中的恢复运行参数，控制生产系统运行。
主权项：1.一种单晶硅生产停电后的复电恢复方法，其特征在于，包括：在电源柜断电后，监测所述电源柜是否复电；所述电源柜用于连接外网电并将外网电提供给单晶炉设备，所述单晶炉设备用于生产单晶硅；且，所述单晶炉设备在所述电源柜断电后从不间断电源获得电能；在监测到所述电源柜复电的情况下，获得复电所用时长，所述复电所用时长表征从所述电源柜断电到复电的持续时长；根据所述复电所用时长，获得复电恢复规则；所述复电恢复规则包含所述单晶炉设备对应的每个生产系统对应的恢复运行参数；所述生产系统用于支撑所述单晶炉设备生产单晶硅；按照所述复电恢复规则中的恢复运行参数，控制所述生产系统运行。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 保定景欣电气有限公司 单晶硅生产停电后的复电恢复方法、装置、设备及介质
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