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申请/专利权人：株式会社堀场STEC
摘要：本发明提供流体控制阀、流体控制装置和材料供给系统。流体控制阀包括：外壳321；以及压电致动器322，收容于外壳321，并且保持在外壳321的一端侧而向外壳321的另一端侧伸长，在外壳321形成有通气孔H1。
主权项：1.一种流体控制阀，其特征在于，包括：外壳；以及压电致动器，收容于所述外壳，并且保持在所述外壳的一端侧而向所述外壳的另一端侧伸长，在所述外壳形成有通气孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社堀场STEC 流体控制阀、流体控制装置和材料供给系统
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