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一种用于氟化氢生产用的气化器 

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申请/专利权人:福建省龙氟新材料有限公司

摘要:本发明公开了一种用于氟化氢生产用的气化器,属于气化器技术领域,包括工作箱体,所述工作箱体上分别连接有引入管、排气管、进气管和出气管,所述工作箱体内部分别安装有气化组件和加热组件,所述排气管远离工作箱体一端连接有尾气处理装置,所述尾气处理装置上设置有加强密封组件,所述尾气处理装置包括可拆卸安装的第一密封腔、第二密封腔和密封端盖,所述第一密封腔内部安装有过滤板,第二密封腔内部依次安装有第一吸附板和第二吸附板,所述第二密封腔两端设置有导槽,所述第一密封腔和密封端盖上设置有与导槽适配的第一导向端和第二导向端,本发明公开的一种便于拆装和清理,有效提高气化过程尾气处理效率的氟化氢生产用的气化器。

主权项:1.一种用于氟化氢生产用的气化器,其特征在于:包括工作箱体(1),所述工作箱体(1)上分别连接有引入管(11)、排气管(7)、进气管(13)和出气管(14),所述引入管(11)上设置有流量计(12),所述工作箱体(1)内部分别安装有气化组件(2)和加热组件(3),所述气化组件(2)两端分别与引入管(11)和排气管(7)连通,所述加热组件(3)与进气管(13)连通,所述排气管(7)远离工作箱体(1)一端连接有尾气处理装置(5),所述尾气处理装置(5)上设置有加强密封组件(6),所述加强密封组件(6)顶部两侧设置有拉环(65),以控制加强密封组件(6)从两端对尾气处理装置(5)进行夹紧,以提高尾气处理装置(5)的密封性;所述尾气处理装置(5)包括可拆卸安装的第一密封腔(51)、第二密封腔(52)和密封端盖(53),所述第一密封腔(51)与排气管(7)连通,所述第一密封腔(51)内部安装有过滤板(58),第二密封腔(52)内部依次安装有第一吸附板(57)和第二吸附板(56),所述第二密封腔(52)两端设置有导槽,所述第一密封腔(51)和密封端盖(53)上设置有与导槽适配的第一导向端(511)和第二导向端(521)。

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权利要求:

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