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申请/专利权人：深圳供电局有限公司
摘要：本申请涉及高灵敏度传感器及加工方法，高灵敏度传感器，高灵敏度传感器包括传感膜片、石英管及光纤结构。传感膜片包括相互叠设的第一传感层及第二传感层，第一传感层形成有第一传感孔；第二传感层形成有贯穿的第二传感孔，第二传感孔靠近第二传感层的一端形成有第一子传感段；石英管内形成有安装腔，石英管沿贯穿方向的第一端配接于第一传感孔内；光纤结构穿设于安装腔内，光纤结构的靠近传感膜片的端面、第一端的端面及第二传感孔的壁面共同构造形成法布里‑珀罗谐振腔。本申请通过在传感膜片的相对两侧开设第一传感孔及第二传感孔，并通过调整第一传感孔及第二传感孔的大小尺寸，以使得高灵敏度传感器能够具有优于现有高灵敏度传感器的灵敏度。
主权项：1.一种高灵敏度传感器，其特征在于，包括：传感膜片，包括相互叠设的第一传感层及第二传感层，所述第一传感层具有预设厚度，所述预设厚度为10um，所述第一传感层背离所述第二传感层的表面凹陷形成有第一传感孔，所述第一传感孔具有第一预设孔径及第一预设孔深，且所述第一预设孔径为830um、所述第一预设孔深为8um；所述第二传感层背离所述第一传感层的表面凹陷形成有贯穿的第二传感孔，所述第二传感孔与所述第一传感孔同轴设置，所述第二传感孔靠近所述第二传感层的一端形成有具有第二预设孔径的第一子传感段，且所述第二预设孔径为1650um；石英管，其内形成有贯穿的安装腔，所述石英管沿贯穿方向的第一端配接于所述第一传感孔内，且所述第一端的端面与所述第二传感孔的底壁间隔设置；光纤结构，穿设于所述安装腔内，所述光纤结构的靠近所述传感膜片的端面、所述第一端的端面及所述第二传感孔的壁面共同构造形成法布里-珀罗谐振腔。
全文数据：
权利要求：
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