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申请/专利权人：浙江大学
摘要：本发明公开了一种扫描电镜原位气体反应装置及控制方法，所述装置包括：设置在扫描电镜舱室外的若干气瓶、若干气管、混气盘、通气软管和设置在扫描电镜舱室内的反应台；所述混气盘包括：气体混合舱室以及设置在气体混合舱室上的若干进气管道和一根送气管道；所述若干气瓶出气口均与单独的气管一端连通，气管另一端与进气管道连通；所述送气管道与通气软管一端连接；所述通气软管另一端固定在反应台上，用于通气软管通气后给反应台上的样品形成局部气体环境。本发明可以安装在任意常规扫描电镜上，无需对电镜结构进行改动，即可实现样品环境气氛10‑4～10‑2Pa原位气体反应，对于原位电镜技术的低成本推广有非常重要的意义。
主权项：1.一种扫描电镜原位气体反应装置，其特征在于，所述装置包括：设置在扫描电镜舱室外的若干气瓶11、若干气管18、混气盘1、通气软管2和设置在扫描电镜舱室内的反应台3；所述混气盘1包括：气体混合舱室14以及设置在气体混合舱室14上的若干进气管道13和一根送气管道17；所述若干气瓶11出气口均与单独的气管18一端连通，气管18另一端分别与进气管道13连通用于将气体送入气体混合舱室14；所述送气管道17与通气软管2一端连接；所述通气软管2另一端固定在反应台3上，用于通气软管2通气后给反应台3上的样品形成局部气体环境。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 一种扫描电镜原位气体反应装置及控制方法
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