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申请/专利权人：北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
摘要：本申请提供一种晶圆缺陷改善系统，用于改善晶圆的球形缺陷，包括：第一腔室以及设置在第一腔室内部的第一吸盘、风刀和电子发生器，其中，第一腔室顶部设置有第一排气口，用于排出气体；第一吸盘用于吸附晶圆；风刀包括支架，支架一端设置在第一腔室内壁上，另一端连接风刀顶部，风刀由支架移动至第一吸盘正上方，用于喷出第一气体并使第一气体吹扫晶圆表面；电子发生器设置于第一吸盘上方，用于产生电子使晶圆表面带有负电荷。本申请在底部抗反射涂层烘烤之后，在第一腔室内通过对晶圆表面进行电子注入、风刀吹扫，降低了晶圆上球形缺陷数量，提高了晶圆的良品率和设备清洁效率，同时降低了成本。
主权项：1.一种晶圆缺陷改善系统，用于改善晶圆的球形缺陷，其特征在于，包括：第一腔室以及设置在所述第一腔室内部的第一吸盘、风刀和电子发生器，其中，所述第一腔室顶部设置有第一排气口，用于排出气体；所述第一吸盘用于吸附所述晶圆；所述风刀包括支架，所述支架一端设置在第一腔室内壁上，另一端连接风刀顶部，所述风刀由所述支架移动至所述第一吸盘正上方，用于喷出第一气体并使所述第一气体吹扫所述晶圆表面；所述电子发生器设置于所述第一吸盘上方，用于产生电子使所述晶圆表面带有负电荷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 一种晶圆缺陷改善系统
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