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申请/专利权人：宁波市甬粤芯微电子科技有限公司
摘要：本实用新型公开的一种SiC单片清洗设备的翻转装置，包括有工作箱和设置在工作箱内的分隔机构、清洗机构、风干机构、移动机构和夹持翻转机构，分隔机构设置在工作箱中，通过分隔机构将工作箱分隔为清洗腔和风干腔，清洗机构设置在清洗腔内，风干机构设置在风干腔内，移动机构设置在工作箱中，夹持翻转机构设置在工作箱中，夹持翻转机构包括有翻转组件和夹持组件，本申请通过清洗机构和风干机构的配合，在对单片进行清洗，然后将单片表面进行风干处理，进而无需人工手动将清洗后的单片表面残留的清洗液擦拭掉，减少了工作人员的工作量，同时也提高了该装置的机械化程度。
主权项：1.一种SiC单片清洗设备的翻转装置，其特征在于，包括有工作箱1和设置在工作箱1内的分隔机构4、清洗机构5、风干机构6、移动机构2和夹持翻转机构3；分隔机构4设置在工作箱1中，通过分隔机构4将工作箱1分隔为清洗腔和风干腔；清洗机构5设置在清洗腔内；风干机构6设置在风干腔内；移动机构2设置在工作箱1中；夹持翻转机构3设置在工作箱1中，夹持翻转机构3包括有翻转组件31和夹持组件32，翻转组件31设置在移动机构2的移动端上，夹持组件32设置在翻转组件31的一侧，夹持组件32与翻转组件31呈联动设置。
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权利要求：
百度查询： 宁波市甬粤芯微电子科技有限公司 一种SiC单片清洗设备的翻转装置
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