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一种工装夹具及抛光机 

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申请/专利权人:杭州睿昇半导体科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种工装夹具及抛光机,涉及抛光机技术领域,一种工装夹具包括:支撑圆盘,支撑圆盘的一端用于和产品接触;设于支撑圆盘上的第一通孔,第一通孔的一端用于和产品连通;与支撑圆盘的一端可拆卸连接的游星轮,游星轮用于包裹住产品;与第一通孔的另一端连通的吹气组件。本实用新型的技术效果在于它便于产品实现拆解。

主权项:1.一种工装夹具,其特征在于,包括:支撑圆盘,所述支撑圆盘的一端用于和产品接触;设于所述支撑圆盘上的第一通孔,所述第一通孔的一端用于和所述产品连通;与所述支撑圆盘的一端可拆卸连接的游星轮,所述游星轮用于包裹住所述产品;与所述第一通孔的另一端连通的吹气组件。

全文数据:

权利要求:

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