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一种臭氧微纳米气泡发生装置 

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申请/专利权人:西安隆基乐叶光伏科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种臭氧微纳米气泡发生装置,涉及清洗技术领域,以解决现有技术中通常利用臭氧槽中的臭氧处理硅片,但是臭氧槽中臭氧的浓度较低,对硅片的清洗效果难以满足工艺需求,导致清洗后的硅片质量不符合要求的问题。所述臭氧微纳米气泡发生装置包括依次连通的臭氧发生器、微纳米气泡发生器、过滤件和收集容器。臭氧发生器用于制取臭氧,微纳米气泡发生器用于处理臭氧以形成臭氧微纳米气泡。微纳米气泡发生器具有进液口,进液口用于通入液体。臭氧微纳米气泡与液体在微纳米气泡发生器内混合形成气液混合物。过滤件用于过滤气液混合物中的气泡,气泡的尺寸大于臭氧微纳米气泡的尺寸,收集容器用于收集容纳过滤后的气液混合物。

主权项:1.一种臭氧微纳米气泡发生装置,其特征在于,包括依次连通的臭氧发生器、微纳米气泡发生器、过滤件和收集容器;所述臭氧发生器用于制取臭氧;所述微纳米气泡发生器用于处理所述臭氧以形成臭氧微纳米气泡;所述微纳米气泡发生器具有进液口,所述进液口用于通入液体;所述臭氧微纳米气泡与所述液体在所述微纳米气泡发生器内混合形成气液混合物;所述过滤件用于过滤所述气液混合物中的气泡,所述气泡的尺寸大于所述臭氧微纳米气泡的尺寸;所述收集容器用于收集容纳过滤后的所述气液混合物。

全文数据:

权利要求:

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