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申请/专利权人：上海芯鸿霖半导体设备有限公司
摘要：本实用新型涉及气体输送技术领域，公开了一种安全性高的特气输送柜，包括装置主体，所述装置主体内侧中部固定设置有隔板，所述隔板底部卡接设置有两个储气罐，所述装置主体靠上部一侧固定设置有箱体，所述箱体内部固定设置有气体回收机构，所述气体回收机构包括一号输气管、风机、分子筛和二号输气管，所述装置主体内部靠下端固定设置有卡接机构。本实用新型中，可以将泄漏的气体抽进气体回收机构内部，通过内部的分子筛可以将抽进来的气体进行分离，进行储存，方便在使用时重新进入管道内部使用，泄漏后可以减轻一点顺势，同时本装置可以防止气体泄漏到一定浓度，防止泄漏后的着火和爆炸的可能。
主权项：1.一种安全性高的特气输送柜，包括装置主体1，其特征在于：所述装置主体1内侧中部固定设置有隔板6，所述隔板6底部卡接设置有两个储气罐9，所述装置主体1靠上部一侧固定设置有箱体5，所述箱体5内部固定设置有气体回收机构11，所述气体回收机构11包括一号输气管1101、风机1103、分子筛1104和二号输气管1107；所述装置主体1内部靠下端固定设置有卡接机构12，所述卡接机构12包括机构主体1201、一号槽1202、固定板1205、三号槽1209、支撑板1207和二号弹簧1208，所述卡接机构12上端与两个储气罐9卡接设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海芯鸿霖半导体设备有限公司 一种安全性高的特气输送柜
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