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申请/专利权人：常州捷佳创精密机械有限公司
摘要：本实用新型属于太阳能电池生产设备，具体涉及一种水膜泵链式清洗设备，包括：若干水膜泵组件，水膜泵组件设置在清洗支撑板的侧壁；水膜泵组件包括若干光电检测开关和若干计量泵，计量泵与光电检测开关电性连接且位置对应；其中，计量泵的进水口与水箱连通，计量泵的出水口朝向所述硅片；通过设置水膜泵组件，输送部输送硅片时，光电检测开关和计量泵与输送硅片的工位对应；光电检测开关处于常开状态，用于检测是否有硅片通过，并传递信号给计量泵，计量泵能预先设置出水量，将水箱里的保护介质抽取并输送到出水口，计量泵的出水口能精准喷出硅片需要的保护介质到硅片表面，避免保护介质的浪费，保证硅片表面水膜的均匀性。
主权项：1.一种水膜泵链式清洗设备，其特征在于，包括：箱体，所述箱体内设置有输送支撑板和清洗支撑板；若干输送部，所述输送部设置在所述输送支撑板的顶部，其中，所述输送部适于输送硅片；若干水膜泵组件，所述水膜泵组件设置在所述清洗支撑板的侧壁；所述水膜泵组件包括若干光电检测开关和若干计量泵，所述计量泵与所述光电检测开关电性连接且位置对应；其中，所述计量泵的进水口与水箱连通，所述计量泵的出水口朝向所述硅片；回收装置，所述回收装置设置在所述输送部的下方，其中，所述回收装置适于储存所述输送部和所述水膜泵组件上滴落的保护介质。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州捷佳创精密机械有限公司 一种水膜泵链式清洗设备
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