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申请/专利权人：安徽纳微智能装备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种多级真空泵机组，包括：至少一个第一机架、第二机架、至少一个第一真空泵和第二真空泵；至少一个第一机架由上到下依次可拆卸地固定在第二机架上，至少一个第一真空泵一一对应地安装在至少一个第一机架内，第二真空泵安装在第二机架内；第二真空泵的进气口和相邻的第一真空泵的出气口通过管道连通，第一真空泵的进气口和相邻的上一个第一真空泵的出气口或负载通过管道连通。本实用新型中能够实现第一真空泵和第二真空泵的上下堆叠布置，极大地减少了占地面积，提高了安装精度。
主权项：1.一种多级真空泵机组，其特征在于，包括：至少一个第一机架2、第二机架1、至少一个第一真空泵4和第二真空泵3；至少一个第一机架2由上到下依次可拆卸地固定在第二机架1上，至少一个第一真空泵4一一对应地安装在至少一个第一机架2内，第二真空泵3安装在第二机架1内；第二真空泵3的进气口和相邻的第一真空泵4的出气口通过管道连通，第一真空泵4的进气口和相邻的上一个第一真空泵4的出气口或负载通过管道连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽纳微智能装备有限公司 一种多级真空泵机组
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