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申请/专利权人：重庆臻宝科技股份有限公司
摘要：本发明涉及一种碱性蚀刻制绒溶液的添加剂及包含该添加剂的蚀刻制绒溶液，添加剂包括普鲁兰多糖、复硝酚钠、木质素磺酸钠和葡萄糖酸钾等组分。包含该添加剂的蚀刻制绒溶液可以将单晶硅气体分流盘的微表面蚀刻出类似于金字塔形状的微结构，增大了气体分流盘的表面积，产品在后续干刻过程中提高了耐腐蚀性能，延长了使用寿命，也有效的分散干刻工艺中的等离子体，保障对晶圆材料的蚀刻均匀，保障LED芯片的质量。
主权项：1.碱性蚀刻制绒溶液的添加剂，其特征在于，按重量份计，所述添加剂包括以下各组分：0.08-1份普鲁兰多糖；0.001-0.08份复硝酚钠；0.02-0.1份木质素磺酸钠；0.01-0.1份葡萄糖酸钾。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆臻宝科技股份有限公司 碱性蚀刻制绒溶液的添加剂及包含其的制绒液
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