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申请/专利权人：北京中科科仪股份有限公司
摘要：本发明公开了一种静电偏转装置及其偏转方法，涉及电子成像装置技术领域，所述静电偏转装置包括：静电偏转极板，所述静电偏转极板包括：第一极板组和第二极板组，所述第一极板组和所述第二极板组其二者向电子束施加相反的作用力。本发明实施例能够解决现有静电偏转装置扫描速度不高，且存在像差和畸变的问题。
主权项：1.一种静电偏转装置，其特征在于，包括：静电偏转极板和极板安装架，所述静电偏转极板包括：第一极板组和第二极板组，所述第一极板组和所述第二极板组其二者向电子束施加相反的作用力；所述第一极板组包括：沿所述极板安装架其周向方向布置的至少两个第一极板；所述第二极板组包括：沿所述极板安装架其周向方向布置的至少两个第二极板；所述第一极板（201）的长度小于所述第二极板（202）的长度，电子束第一轨迹线经过第一极板（201）偏转到一个方向，而后经过第二极板（202）偏转到另一方向；所述极板安装架具有供电子束通过的通过腔；所述第一极板组和所述第二极板组分别布置在所述极板安装架其长度方向上的两侧；所述极板安装架包括：环形绝缘体，以及设置在所述环形绝缘体其中空腔体内腔壁上的导电层；所述静电偏转极板设置在所述环形绝缘体上，且所述静电偏转极板穿过所述导电层延伸至所述中空腔体内；所述环形绝缘体其周向方向上设置有用于容置所述静电偏转极板的容置孔；所述环形绝缘体的端部设置有用于固定所述静电偏转极板位置的定位部；所述第一极板和第二极板分别施加第一电压和第二电压，所述第一电压和所述第二电压的大小和幅值相同、方向相反。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京中科科仪股份有限公司 一种静电偏转装置及其偏转方法
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