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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本公开内容的多个实施方式一般涉及用于形成有机发光二极管OLED装置的方法。形成所述OLED装置包括在衬底上沉积第一阻挡层，该衬底上设置有OLED结构。随后在所述第一阻挡层上沉积缓冲层的第一子层。用混合气体等离子体固化所述缓冲层的所述第一子层。固化所述第一子层包括在所述固化发生的工艺腔室中从所述混合气体等离子体产生水。所述第一子层的所述沉积和所述第一子层的所述固化被重复一次或多次以形成完成的缓冲层。随后在所述完成的缓冲层上沉积第二阻挡层。
主权项：1.一种用于形成有机发光二极管OLED装置的方法，包括：在衬底的区域上沉积第一阻挡层，所述衬底上设置有OLED结构；在所述第一阻挡层上沉积缓冲层的第一子层；用混合气体等离子体固化所述第一子层，所述混合气体等离子体包括选自由aNH3和N2O、bH2和N2O、cH2和O2、或dNH3和O2所组成的群组中的至少一对，其中固化所述第一子层包括在所述固化发生的腔室中从所述混合气体等离子体产生水；重复所述第一子层的沉积和所述第一子层的固化一次或多次以形成完成的缓冲层；和在所述完成的缓冲层上沉积第二阻挡层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于HMDSO热稳定性的方法
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